Professor Shangci Shi: Høyytelsesaluminiums keramikk for halvlederutstyr-Produksjonsteknologier
"Chokepoint" -teknologiene i Kinas halvlederindustri representerer en avgjørende flaskehals som må overvinnes for å oppnå teknologisk selvforsyning . fra et materialperspektiv, avansert keramikk utgjør spesielt akutte utfordringer-core halvlederproduksjonsprosesser som etsing, epitaksisk avsetning, og -motstandende implantasjoner implantasjoner med etsing av etsing av keramikk, epitaxial, og iion implanter, componals-implantasjoner, epitaxial implantasjoner implanter, componals, epitaxial implantasjoner, som etsing av keramikk, epitaxial implanter, implantater, som etsing av keramikk, epitaxial implantasjoner, componeres, som etset, epitaks, k,. Termisk ekspansjon, høy mekanisk styrke og stivhet .
Ulike avanserte keramikk-inkludert silisiumkarbid (SIC), cordieritt og aluminiumnitrid (ALN)-hver excel i spesifikke applikasjon
Å oppfylle halvlederindustriens strenge ytelseskrav presenterer imidlertid flere oppstrøms utfordringer, inkludert formuleringsoptimalisering, prosessforfining, utstyrsmuligheter, råstoffkvalitet (E . g ., pulver for alum og tilsetninger, så godt som lange nedstrøms validering og høy kvalifikasjonsrader. Leverandører samtidig som du skaper innovasjonsmuligheter . For å imøtekomme applikasjonskravene til keramiske komponenter i halvlederutstyr, gir denne artikkelen en detaljert introduksjon til råstoffegenskapene, dannende prosesser, sintringsteknologier og presisjonsmaskineringsmetoder for å produsere høye ytelsesalumater for å produsere analysering av aluminiums-alt. Komponenter i halvlederutstyr, presenterer professor Shangci Shi utviklingstrendene til innenlandske keramiske komponenter for halvlederenheter i Kina .
Denne innsiktsfulle diskusjonen, som kombinerer teknisk analyse og bransjeperspektiver, forventes å tilby nye ideer og praktisk veiledning for alumina keramisk FoU, utstyrsproduksjon og innenlandsk substitusjon .
Disse fremskrittene viser hvordan materielle innovasjoner muliggjør neste generasjons halvlederproduksjonsevner mens de reduserer avhengigheten av utenlandske leverandører . Den vellykkede utviklingen av slike spesialiserte keramiske løsninger krever nært samarbeid i hele forsyningskjeden-fra pulverprodusenter til utstyr OEM og sluttbrukere .}}}}}