Produktbeskrivelse

Keramiske aluminiumoksydavsetningsringer fungerer som kritiske forbrukskomponenter i reaksjonskamrene til utstyr for kjemisk dampavsetning (CVD) og fysisk dampavsetning (PVD)-kjerneenheter i produksjon av halvlederbrikker. Deres materialvalg og brukskrav er eksepsjonelt strenge. Vanligvis installert rundt waferbærere (elektrostatiske chucker), utgjør de en del av prosessens reaksjonsrom. I det krevende produksjonsmiljøet for halvledere er avsetningsringens primære rolle å beskytte kostbare kjernekomponenter (som elektrostatiske chucker) mot forurensning og avsetning av prosessbiprodukter, sikre prosessensartethet og opprettholde kammerrenshet og stabilitet.

Ceramic Deposition Rings

Produktytelse

Eksepsjonell korrosjonsbestandighet: Kan motstå erosjon fra ulike etsende, svært reaktive plasmagasser (f.eks. fluor-baserte, klor-baserte gasser) som brukes i CVD/PVD-prosesser, og sikrer forlenget levetid.
Overlegen høy-temperaturmotstand: Opprettholder strukturell stabilitet og ytelse ved prosesstemperaturer som når hundrevis eller til og med tusenvis av grader Celsius uten deformasjon eller smelting, noe som demonstrerer egenskapene som en høy-alumina-keramikk.
Høy renhet og lav forurensning: Høy-alumina-keramikk (f.eks. 99,9 % eller høyere) minimerer frigjøring av forurensninger som metallioner fra selve materialet inn i prosesskammeret under høye-temperatur- og plasmaforhold, og forhindrer forurensning av wafer. Semiconductor-applikasjoner etterstreber den ultimate renheten til 99,99 % alumina-keramikk.
Utmerket mekanisk styrke og hardhet: Har tilstrekkelig stivhet til å opprettholde dimensjonsstabilitet samtidig som den tåler mekaniske påkjenninger og installasjonskrefter. Robuste mekaniske egenskaper danner grunnlaget for alle former-enten alumina keramiske plater, alumina keramiske stenger (alumina barer) eller alumina rør.
Overlegen isolasjon: Som et isolerende materiale forstyrrer ikke alumina-keramikk den elektrostatiske chuckens adhesjonsfunksjon for wafere, noe som sikrer prosesssikkerhet og stabilitet.
Moderat termisk ledningsevne: Bidrar til å homogenisere temperaturfeltet i kammeret samtidig som det forhindrer overoppheting. Dette er en verdsatt egenskap for varmeavledningskomponenter som alumina keramiske substrater eller keramiske kjøleplater.
Høy presisjon og bearbeidbarhet: Gjennom avanserte keramiske formingsteknikker og presisjonsmaskinering kan komplekse former med eksepsjonell dimensjonsnøyaktighet og overflatefinish oppnås.

ceramicstimes performance parameter

Produktapplikasjon

Råmaterialer: Krever fint aluminiumoksydpulver, spesielt for aluminakeramikk med høy-renhet. Aluminiumoksid (Al2O3) er basiskjemikaliet.
Forming og sintring: Involverer alumina keramiske produsenter som bruker teknikker for å produsere alumina keramiske emner, for eksempel alumina blokker, alumina plater (alumina plater), alumina rør (al2o3 tube) og alumina skiver.
Presisjonsbearbeiding: Utføres av spesialister i keramisk bearbeiding av alumina eller deleleverandører, og transformerer emner til sluttkomponenter som keramiske plater av aluminiumoksyd, keramiske staver av aluminiumoksyd eller komplekse keramiske konstruksjonsdeler av alumina.
Andre former og bruksområder: Utover avsetningsringer har alumina-keramikk forskjellige halvlederbruk, for eksempel alumina-keramiske substrater (al2o3-substrat) for emballasje, alumina-keramiske membraner og alumina-fiberrør for isolasjon.

Sertifikater og utmerkelser

Ekspertene våre har 20 års FoU-erfaring i uavhengig utvikling og produksjon av avanserte keramiske materialer og presisjonskeramikk, og oppnår standarder i verdensklasse-. Vi har blitt anerkjent som en nasjonal høyteknologisk-bedrift og er et ledende talentprosjekt i Shaoxing City, kjent som "Hometown of Scholars."

Vi følger strengt ISO 9001 kvalitetsstyringssystem for å sikre konsistens:

100 % råvareinspeksjon
Avanserte varme-pressende produksjonslinjer
Intern-testing: tetthet, hardhet, mikrostrukturanalyse
Tredjepartssertifiseringer- (SGS, CE, ROHS tilgjengelig på forespørsel)

certificates

honors

fabrikkstyrke

Vi besitter avansert teknisk ekspertise innen sintring, forming, sliping, CNC-maskinering, laserboring, sliping og poleringsprosesser, noe som gjør oss i stand til å tilpasse ulike keramiske produkter i henhold til kundenes spesifikasjoner. Våre digitale verksteder og smarte fabrikker, utstyrt med sanntidsdatainnsamlingssystemer, utnytter slanke produksjonsprinsipper for å minimere sløsing og maksimere ressurseffektivitet. Ved å integrere CNC-maskineringsteknologi, industriell IoT og automatiserte kontrollsystemer oppnår vi sømløs tilkobling og samarbeid mellom produksjonsutstyr, og maksimerer dermed produksjonsbesparelser.

Factory